所謂的微焦點(diǎn)X射線(xiàn)檢測(cè)是焦點(diǎn)尺寸可以達(dá)到幾個(gè)微米，并且能夠在0～225kV或更高恒電壓模式下，以一定的功率（通常zui高為320W）連續(xù)工作的X射線(xiàn)機(jī)。微焦點(diǎn)X射線(xiàn)檢測(cè)機(jī)的焦點(diǎn)尺寸通常可以連續(xù)可調(diào)，從幾微米直到0.2毫米或更高。
　　
　　微焦點(diǎn)X射線(xiàn)檢測(cè)機(jī)的主要技術(shù)參數(shù)：
　　
　　-管電壓范圍：微焦點(diǎn)X射線(xiàn)管的高壓工作范圍。
　　
　　-zui大管電流：從陰極到陽(yáng)極的zui大電流。
　　
　　-zui大功率：微焦點(diǎn)X射線(xiàn)管的zui大功率。
　　
　　-電子束聚焦能力（焦點(diǎn)）：在給定功率下的焦點(diǎn)尺寸，如：3µm@5W；0.2mm@320W。焦點(diǎn)一般連續(xù)可調(diào)。
　　
　　-細(xì)節(jié)分辨能力：通常*的zui小的細(xì)節(jié)分辨能力為焦點(diǎn)尺寸的一半。
　　
　　-錐束角：在給定窗口直徑下的X射線(xiàn)放射角。如：孔徑2mm時(shí)，25°。
　　
　　-錐束角內(nèi)射線(xiàn)均勻度：射線(xiàn)視場(chǎng)強(qiáng)度的均勻性，以百分比表示。
　　
　　-X射線(xiàn)劑量率穩(wěn)定性：X射線(xiàn)劑量隨時(shí)間的變化性，以百分比/小時(shí)表示。
　　
　　-zui小焦距：通常用焦點(diǎn)到X射線(xiàn)管窗口外表面的距離來(lái)表示。
　　
　　-靶材料：通常有鎢，鉬，銅以及其它材料。
　　
　　-zui小高壓穩(wěn)定時(shí)間：系統(tǒng)在zui大電壓和zui大功率模式下，從開(kāi)機(jī)到穩(wěn)定運(yùn)行所需的時(shí)間。
　　
　　-其它參數(shù)：重量，尺寸，電源，及溫度濕度要求等。